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肇慶半導(dǎo)體廢水處理方案

工程概況

某公司是生產(chǎn)多晶體硅半導(dǎo)體材料的專業(yè)公司。該公司多晶硅生產(chǎn)裝置所產(chǎn)生的酸性廢水、硅棒高純水洗產(chǎn)生的廢水、含硅廢水、浸蝕酸廢液等需要處理才能排放,處理后的廢水可以回用于噴淋塔、冷卻塔清洗等。


設(shè)計進(jìn)水水量水質(zhì)

  設(shè)計處理規(guī)模為:360m3/d。

  根據(jù)業(yè)主提供污水水質(zhì),數(shù)據(jù)如下(單位為mg/l):

表1 廢水水質(zhì)水量一覽表

類型COD(mg/l)SS(mg/l)備注
半導(dǎo)體廢水≤600ppm≤400


污水處理排放標(biāo)準(zhǔn)

  根據(jù)業(yè)主要求規(guī)劃,廢水經(jīng)處理后出水的排放標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二時段一級標(biāo)準(zhǔn)和《城市污水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)與再生水利用》(GB/T19923-05)之較嚴(yán)者,具體相關(guān)指標(biāo)如下表2所示(單位為mg/l):

表2 出水指標(biāo)排放標(biāo)準(zhǔn)(單位mg/l,除pH外)

序號參數(shù)排放標(biāo)準(zhǔn)
1PH6—9
2SS≤10
3CODcr≤60
4BOD5≤10
5總銅≤0.5

  廢水處理系統(tǒng)(MCR)出水可以達(dá)標(biāo)或回用作為雜用水,也可經(jīng)過回用水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理,回用水系統(tǒng)出水水質(zhì)可優(yōu)于自來水水質(zhì)要求,滿足超純水系統(tǒng)進(jìn)水水質(zhì)。


工藝設(shè)計分析

   廢水經(jīng)過一級物化處理后,達(dá)到表三標(biāo)準(zhǔn)排放的廢水,主要成份含量:Cu≤5ppm、硅粉等微量固形物、懸浮物;需要進(jìn)行膜處理才能達(dá)到回用水質(zhì)指標(biāo)。


污水處理工藝流程圖


五、處理工藝流程圖

工藝說明

  ①介質(zhì)濾器、活性炭濾器和其它制程產(chǎn)生的水進(jìn)入廢水處理系統(tǒng)調(diào)節(jié)池,與工業(yè)廢水綜合后進(jìn)行物化沉淀處理。

  ②工業(yè)廢水經(jīng)過“調(diào)節(jié)池+絮凝反應(yīng)池+斜管沉淀池+MCR膜化學(xué)反應(yīng)器”處理,去除殘留的微量固形物、懸浮物。經(jīng)MCR產(chǎn)水泵到收集水箱。水量:18m3/h(360m3/D)。

  ③產(chǎn)水經(jīng)過UV防止胞外聚合物對后續(xù)處理的污染。經(jīng)炭濾處理去除小分子有機(jī)物后,進(jìn)入RO系統(tǒng)進(jìn)行一次預(yù)脫鹽:

  ④純水制備產(chǎn)生的RO濃水,水質(zhì)濁度低,含鹽量相對較高。進(jìn)入濃水收集水箱,與工業(yè)廢水RO系統(tǒng)產(chǎn)生的濃水進(jìn)行混合。進(jìn)行EDI(膜分鹽系統(tǒng))處理后,產(chǎn)生的淡液經(jīng)過 PH調(diào)整后,進(jìn)行膜回收處理后回用。

  ⑤EDI濃水收集后,作為介質(zhì)濾器的反洗水;中央空調(diào)冷卻循環(huán)補(bǔ)水,多余水作為雜用水,或溢流到應(yīng)急水池廢水處理。


預(yù)計處理效率

表3 廢水膜處理和濃水回收減量數(shù)據(jù)表

水質(zhì)類型水量 (m3/h)給水TDS(mg/L)回收水量(m3/h)濃水量(m3/h)效率 %濃水去向
MCR膜處理17.940017 0.9
污泥濃縮池
廢水反滲透回收系統(tǒng)1740013.63.480濃水收集池
分鹽膜處理系統(tǒng)8.830008.10.792委外或排放
淡液回收處理系統(tǒng)8.120006.91.385委外或排放
EDI濃水1.8



介質(zhì)反洗水,循環(huán)水補(bǔ)水
回收水

20.51.989


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