電子專用材料、電子元件及電路板等是電子行業(yè)的基礎(chǔ)產(chǎn)品，需求量大。在生產(chǎn)這些電子基礎(chǔ)配件的清洗、腐蝕、蝕刻等工藝過(guò)程中常常會(huì)伴隨產(chǎn)生排放量大、濃度高、毒性強(qiáng)的含氟廢水，其中氟是該工業(yè)廢水處理的踵點(diǎn)。盡管氟元素是人體需的微量元素之一，但過(guò)量攝入會(huì)對(duì)人體及生物造成嚴(yán)重危害。近年來(lái)，伴隨著氟化物的加工使用，尤其是電子行業(yè)和氟化工業(yè)的迅猛發(fā)展，含氟廢水排放量不斷上升，該廢水的合理收集和有效凈化處理成為實(shí)現(xiàn)清潔生產(chǎn)的關(guān)鍵。目前國(guó)內(nèi)外處理含氟廢水的主要方法有化學(xué)沉淀法、混凝沉淀法、吸附法、反滲透法、離子交換法、電凝聚法、液膜法、共蒸餾法等，但大多數(shù)處理方法的出水水質(zhì)不穩(wěn)定，二次污染較嚴(yán)重，因此在含氟廢水的實(shí)際處理過(guò)程中，更多地會(huì)采用多方法組合處理的工藝，如馬倩采用］在含氟廢水的+反滲透系統(tǒng)氟廢水的實(shí)際處理過(guò)程中，更多地會(huì)采用多方法組合65%以上。

本文以某電子行業(yè)企業(yè)含氟廢水處理工程為例，該企業(yè)在前清洗、腐蝕、蝕刻等生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生含氟廢水，該廢水產(chǎn)生量大、濃度高、毒性強(qiáng)。綜合考慮該企業(yè)實(shí)際含氟廢水排放量、排放特點(diǎn)、處置目的和處置成本，該企業(yè)采用是人體需的微+袋式過(guò)濾器+三級(jí)樹脂柱+終端過(guò)濾箱子行業(yè)企業(yè)含氟廢水處理工程為例，該企業(yè)在前清洗、腐蝕、蝕刻等生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生含氟廢水。

該企業(yè)含氟廢水處理工藝流程如圖1所示。含氟廢水回用系統(tǒng)的主要原理是離子交換，離子交換是借助于固體離子交換劑中的離子與稀溶液中的離子進(jìn)行交換，以達(dá)到提取或去除溶液中某些離子的目的，是一種屬于傳質(zhì)分離過(guò)程的單元操作。離子交換樹脂充夾在陰陽(yáng)離子交換膜之間形成單個(gè)處理單元，并構(gòu)成淡水室。離子交換速度隨樹脂交聯(lián)度的增大而降低，隨顆粒的減小而增大。離子交換是一種液固相反應(yīng)過(guò)程，必然涉及物質(zhì)在液相和固相中的擴(kuò)散過(guò)程。企業(yè)含氟廢水經(jīng)過(guò)陰離子交換樹脂將F－交換至樹脂中，產(chǎn)水回用至超純水系統(tǒng)進(jìn)行進(jìn)一步處理。含氟廢水回用系統(tǒng)主要步驟為:(1)將含氟廢水送入含氟廢水收集槽，進(jìn)行化學(xué)混凝沉淀;(2)廢水泵入ACF吸附塔，然后送入袋式過(guò)濾器，進(jìn)行活性炭吸附和袋式過(guò)濾，減少懸浮物、有機(jī)污染物、膠體對(duì)后續(xù)設(shè)備的影響;(3)廢水依次送入SAC樹脂塔、WBA樹脂塔和SBA樹脂塔，在去除氟離子的同時(shí)，降低廢水中電導(dǎo)率，以及控制pH值。

再生廢水和其余含氟廢水則采用兩級(jí)化學(xué)沉淀工藝處理，通過(guò)pH調(diào)整，添加CaCl2反應(yīng)，形成氟化鈣沉淀后去除。在除氟的過(guò)程中，水中的磷也會(huì)以磷酸鈣的形式被去除;PAC混凝劑、PAM絮凝劑不僅可以去除廢水中的粒徑細(xì)小的懸浮顆粒，還能去除色度、油分等。

某電子行業(yè)企業(yè)排放的含氟廢水具有廢水量大、濃度高、毒性強(qiáng)的特點(diǎn)。針對(duì)其含氟廢水的特點(diǎn)，該企業(yè)采用沉淀處理工藝處+袋式過(guò)濾器+三級(jí)樹脂柱+終端過(guò)濾箱毒處理部分含氟廢水并回用，再生廢水和其余含氟廢水經(jīng)兩級(jí)沉淀處理工藝處理后排放。結(jié)果表明，采用上述工藝既能通過(guò)回用滿足生產(chǎn)活動(dòng)中用水的需求，又能實(shí)現(xiàn)含氟廢水處理后的達(dá)標(biāo)排放。工程實(shí)例證明，該處理工程能大幅降低含氟廢水的排放量，運(yùn)行穩(wěn)定且能夠達(dá)到清潔生產(chǎn)的要求。

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